MOS电容,最全面MOS管的高频小旌旗灯号电容文章
信息来历:本站 日期:2017-09-18
从MOS管的多少机关及任务道理可以或许发明,MOS管存在着多种电容,这会影响MOS管的高频机能。
根据MOS管的多少机关组成的各类电容如图1.5所示,具体为:
(1)栅与沟道之间的栅氧电容C2=WLCox,此中Cox为单元面积栅氧电容ε0x/tox。
(2)沟道耗尽层电容C3=W):其
中q为电子电荷,εsi硅的介电常数,Nsub为衬底浓度,φF为费米能级。
(3)交叠电容(多晶栅袒护源/漏区所组成的电容),每单元宽度的交堯电容记为Col,因为是环状的电场线,Col不能简略计较获得,且它的值与衬底偏置有关。交叠电容首要有栅/源交叠电容Cl= WCol与栅/漏交叠电容C4= WCol。
(4)源/漏区与衬底间的结电容:Cbd, Cbs,即为漏极、源极与衬底之间组成的PN结势垒电容,这类电容通俗由两部分组成:一部分是垂直标的目的(即源/漏区的底部与衬底间)的底层电容,以单元面积PN结电容Cj衡量;另—部分是源/漏区的四周与衬底间组成的横向圆周电容,以单元长度结电容Cjs来衡最。单元面积PN结的势垒电容Cj可表现为:
式(1.1)中Cjo为PN在零偏电压时单元底面积结电容(与衬底浓度有关),VR是加于PN结的反偏电压,φB是漏/源区与衬底问的PN结打仗势垒差(通俗取0.8V),而m是底面电容的梯度因子,通俗取介于0.3~0.4间的值。
因此,MOS管源/漏区与衬底间总的结电容可表现为:
CBD.BS=WHCj+2(W+H)Cjs
式(1.2)中H是指源、漏区的长度,W是MOS管的宽度。
由式(1.2)可发明:差别MOS管的源/漏区的多少形状,即差别的源/漏区面积和圆周尺寸值,存在着差别的结电容。在总的宽长比不异的状态下,接纳并联合构,即MOS管的H稳定,而每个MOS管的宽为本来的几分之一,则MOS管的源/漏区与衬底间总的结电容比原机关小。
例1.2 别离求出以下三种前提下MOS管源/漏区与衬底间总的结电容(假设任何,个MOS管的源/漏区的长度都为H):
①(W/L)=100的一个MOS管;
②(W/L)1,2=50两个MOS管并联;
③(WIL)1~5=20的5个MOS管并联。
解:为了计较便利,假设统统MOS管的沟道长度L=0.5μm,H=lμm则有
①CBD,BS:WHCj+2(W+H)Cjs=200Cj+402Cjs
以是总的源/漏区与衬底问的结电容为Cbd+Cbs=400Cj+804Cjs
②Cbdl, 2=Cbs1=Cbs2=100Cj+202Cjs
以是总的源/漏区与衬底间的结电容为Cbd1十Cbs1+Cbd2=300Cj+606Cjs
③Cbd1,2=Cbd3,4=Cbd5=Cbs1=Cbs2,3=Cbs4, 5=40Cj+82Cjs
以是总的源/漏区与衬底间的结电容为
Cbdl,2+Cbd3, 4+Cbsl+Cbs2, 3+Cbs4,5+Cbd5=240Cj+492Cjs
因为在仿照集成电路中,MOS管通俗以四端器件呈现,因此在理论电路设想中首要思考MOS管每两个端口之间存在的电容,如图1.6所示,源/漏南北极之间的电容很小可忽视不计,这些电容的值便是由后面分解的各类电容组合而成,由丁在差别的任务区时MOS管的反型层厚度、耗尽层厚度等差别,则响应的电容也不不异,以是对于MOS管的极问电容可以或许分为三个任务区别离遏制会商。
(1)遏制区
漏/源之间不组成沟道,此时当然不存在反型层,但可以或许发生了耗尽层,则有栅/源之间、栅/漏之间的电容为:CGD=CGS= WCol;
栅极与衬底间的电容为:CGB=(WLCox)Cd/(WLCox+Cd),即栅氧电容与耗尽层电容Cd的串连,此中乙为沟道的有用长度,且
CSB与CDB的值别离是源极、漏极与衬底间电压的函数,可以或许由式(1.2)求解出。
(2)饱和区
在此任务区,MOS管的沟道在漏端曾爆发夹断,以是栅/泄电容CGD约莫为WCol;同时MOS管的有用沟道长度延长,栅与沟道间的电位差从源区的VGS下降到夹断点的VGS-Vth致使了在栅氧下的沟道内的垂直电场的不不合,可以或许证实此时MOS管的栅+源间电容除过笼盖电容以外的电容值可表现为(2/3)N1Cox。因此
CGS=2WLCox/3+WCol (1.3)
(3)深线性区
在此任务区,漏极D与源极s的电位的确不异,栅电压变更AV时,引起等量的电荷从 源极流向漏极,以是栅氧电容(栅与沟道间的电容)WLCox、F均分为栅/源端之间与栅/漏端之间的电容,此时栅/源电容与栅/泄电容可表现为
当任务在线性区与饱和区时,栅与衬底间的电容常被忽视,这是因为反型层在栅与衬底间起着屏障感化,也便是说假设栅压爆发了修改,导电电荷的供给首要由源极供给而流向漏极,而不是由衬底供给导电荷。
CGD与CGS在差别任务地区的值如图1.7所示,寄望在差别的地区之间的改变不能简略计较获得,只是根据趋势遏制延长而得。
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